自动植球机研发

在WLP工艺中，晶圆上凸点(Bump)的制作是关键的基础技术，在WLP封装中电镀凸点方对BGA基板植球进行了研究。针对晶圆凸点制作的金属模板印刷和植球方式，研究WLP封装工艺和WLP植球机关键技术，并在自主研制的半自动晶圆级微球，植球机进行植球实验，晶圆尺寸12inch,焊锡球直径250um。晶圆级植球技术和设备的开发研制为好的芯片封装装备国产化提供从技术理论到实践应用的参考。我司设备利用独自开发取得的毛刷，可以高效植球的同时，能延缓锡球的氧化，不造成锡球的浪费。晶圆植球机通过球的回收功能，实现了废球量的大幅度减少。自动植球机研发

晶圆植球机BM1310W：1.可以对应硅晶圆，模块晶圆的微锡球植球。2.设备结构简易，易操作维护。3.根据客户需要，可选配检查补球机组线生产。4.可对应8,12寸的晶圆。（注1）。5.SECS/GEM、OHT、AGV可选。晶圆植球机，简称易捷测试（GBIT），晶圆植球机，专业提供半导体晶圆级测试、封装工艺及检测类设备，并专注于提供给客户完整的系统集成服务一、半自动BGA植球机1）功能用于基板植球和单颗芯片植球采用pin转印助焊剂方式点助焊剂，振动方式供球，真空方式吸取和放球。自动植球机研发晶圆植球机植球精度大概为0.015mm。

晶圆植球机是一款怎么样的设备？晶圆植球机，简称GBIT，晶圆植球机，专业提供半导体晶圆级测试、封装工艺及检测类设备，并专注于提供给客户完整的系统集成服务一、半自动BGA植球机1）功能用于基板植球和单颗芯片植球采用pin转印助焊剂方式点助焊剂，振动方式供球，真空方式吸取和放球2）特点振动盘方式供球，所有品种通用，治具成本低结构紧凑，占地空间小。晶圆级微球植球机是半导体封装装备，专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程，对应微球球径为80-450μm，对位精度达±25μm，植球良率达99.997%以上。

植球工艺是指制造芯片凸点(Bump)的过程，实施植球工艺的植球技术是例装芯片封装、BGA/WLCSP先进封装工艺中的关键技术。凸点是芯片与外部电路相连接的纽带，即VO通道"。芯片凸点种类很多，常用的有金凸点和焊料凸点。进行倒装芯片封装时，常采用热超声工艺制作金凸点，该工艺可以根据焊接要求进行凸点设计并按设计模型灵活实现制作，既可保证器件的电学和机械特性，又可节省材料和工作量”。根据制作凸点类型的不同，植球机的工作原理也各不相同。植球机主要采用热超声工艺进行金凸点制作。BGA植球机适用于批量芯片的植球。

晶圆植球机用于基板植球和单颗芯片植球采用pin转印助焊剂方式点助焊剂，振动方式供球，真空方式吸取和放球2）特点振动盘方式供球，易捷测试技术,所有品种通用，治具成本低结构紧凑，占地空间小3）参数芯片尺寸：1x1〜50x50mm锡球尺寸：≥0.2mm对位精度：10um对应产品：基板和单颗产品速度：30s/panel植球良率：99.95%。设备可以在1分钟左右内，同时在晶圆上植入锡球，以及检查及修补，较终达到100%的良率。植好球的晶圆流入回流炉，锡球在高温下融化，从而焊接在晶圆上。晶圆植球机应经常保持清洁，钢网松软棉布擦拭。自动植球机研发

晶圆植球机精度高，重复精度±0.01mm；自动植球机研发

晶圆级微球植球机是半导体封装装备，专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程，对应微球球径为80-450μm，对位精度达±25μm，植球良率达99.997%以上。单CCD双视场图像处理技术、微球弹性体压入技术和微球自动收集及循环供球技术，满足了微球搭载和精密丝网印刷工艺对定位精度的严苛要求，克服了国外同型号装备在定位精度和微球循环上的不足，提升了微球搭载成功率。自动晶圆植球：自动对位。运动机构采用直线电机和DD马达，提高速度和精度 独有的植球机构，特别适合微球植球，不伤球 模块化结构，晶圆植球机，可以做成单机，也可以做成连线式机台。自动植球机研发

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